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    什么是質(zhì)量流量計,質(zhì)量流量控制器

    時間:2022-11-26      點擊次數(shù):4090

    質(zhì)量流量計
    1什么是質(zhì)量流量計
    質(zhì)量流量計,英文Mass Flow Meter(簡稱MFM),用來快速、精確測量過程氣體流量大小的精密傳感器。這里講的質(zhì)量流量計主要應(yīng)用于低壓、小流量的單一或混合氣體,低壓一般在1Mpa以下,最大可達(dá)3Mpa;流量范圍一般為:0.1sccm-5000slpm;單一氣體如常見的空氣、氦氣、氬氣等,要求相對干燥、純凈;混合氣體則需明確氣體種類和比例。

    QQ截圖20221126173558.jpg


    2質(zhì)量流量計可獲得哪些參數(shù):

    易度質(zhì)量流流量計可精確獲得氣體的實時溫度、壓力、工況流量、標(biāo)況流量和累計流量五大參數(shù)。

    3質(zhì)量流量計的單位:

    一般為:SLPM(標(biāo)況下升/分鐘)和SCCM(標(biāo)況下毫升/分鐘),均為標(biāo)況下的體積流量單位,易度標(biāo)況定義為101.325KPa和25℃。

    4質(zhì)量流量計的構(gòu)成:

    易度層流質(zhì)量流量計主要由層流元件壓差傳感器壓力傳感器溫度傳感器、電路設(shè)計、軟件算法六部分組成。

    5層流壓差式質(zhì)量流量計的工作原理:

    層流壓差原理,基于哈根泊肅葉定律設(shè)計的

    在溫度、管徑等參數(shù)一定的情況下,氣體是層流狀態(tài)時,通過獲取層流元件兩端的壓差信號,計算出體積流量,然后通過溫度、壓力等參數(shù)的修正,獲得標(biāo)準(zhǔn)體積流量。

    質(zhì)量流量計結(jié)構(gòu)示意圖:

    圖片1.png

    6質(zhì)量流量計的通訊:

    質(zhì)量流量計可通過RS485、profibus等數(shù)字信號0-5V 、4-20mA模擬信號或觸摸式顯示屏面板來進(jìn)行介質(zhì)切換、標(biāo)況定義更改、參數(shù)顯示等操作。

     

     

    質(zhì)量流量控制器
    1什么是質(zhì)量流量控制器
    質(zhì)量流量控制器,英文Mass Flow Controller(簡稱MFC),用來快速、精確、穩(wěn)定控制過程氣體的流量大小,自動化設(shè)備中的氣路控制核心部件。質(zhì)量流量控制器主要應(yīng)用于控制低壓、小流量的單一或混合氣體,低壓一般在1Mpa以下,最大可達(dá)3Mpa;流量范圍一般為:0.1sccm-5000slpm;單一氣體如常見的空氣、氦氣、氬氣等,要求相對干燥、純凈;混合氣體則需明確氣體種類和比例。


    2質(zhì)量流量控制器可控制哪些參數(shù):

    易度質(zhì)量流量控制器可根據(jù)客戶工藝要求,控制氣體流量大小,該流量是標(biāo)況下的體積流量,同時也可獲得氣體的實時溫度、壓力、工況流量、瞬時流量等關(guān)鍵參數(shù)。

    3質(zhì)量流量控制器的單位:

    一般為:SLPM(標(biāo)況下升/分鐘)和SCCM(標(biāo)況下毫升/分鐘),均為標(biāo)況下的體積流量單位,易度標(biāo)況定義為101.325KPa和25℃。

    4質(zhì)量流量控制器的構(gòu)成:

    層流質(zhì)量流量控制器主要由層流元件、壓力傳感器、壓差傳感器、溫度傳感器、精密比例調(diào)節(jié)閥、電路設(shè)計和軟件算法七部分組成。

    5質(zhì)量流量控制器的工作原理:

    層流質(zhì)量流量控制器,內(nèi)置壓力和溫度傳感器,能充分補(bǔ)償因溫度和壓力引起的體積流量和質(zhì)量流量間的差異,并根據(jù)作為電信號發(fā)送的設(shè)定流量通過精密電磁比例調(diào)節(jié)閥自動控制氣體流量,從而提供更加準(zhǔn)確和穩(wěn)定的流量測量和控制。

    質(zhì)量流量控制器結(jié)構(gòu)示意圖:

    圖片1.png

     

    6質(zhì)量流量控制器的通訊:

    質(zhì)量流量控制器可通過RS485、profibus等數(shù)字信號0-5V 、4-20mA模擬信號或觸摸式顯示屏面板來進(jìn)行流量設(shè)定、介質(zhì)切換、標(biāo)況定義更改、參數(shù)顯示等操作。


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