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    氣體質量流量控制器-基于層流壓差式的專業解析

    時間:2025-01-02      點擊次數:246

    氣體流量控制器(Mass Flow Controller, MFC)是一種用于精確控制氣體流量的關鍵設備,廣泛應用于半導體制造、化學工藝、生物醫藥以及環保等領域。其工作原理和性能表現直接決定了相關工藝的效率與質量。

    易度智能作為國產自研層流原理的MFC制造商,以其技術和產品性能成為行業的獨角獸。小編從專業視角詳細解析基于層流壓差原理的MFC核心技術、工作機制及易度智能MFC的產品優點

    1. 層流的基本特性

    層流是氣體在低雷諾數條件下的穩定流動狀態,在層流狀態下,氣體的流量與壓差成正比。這一特性為層流壓差式氣體流量控制器的設計提供了理論基礎。

    2. 壓差式測量的實現

    層流壓差式MFC通過以下關鍵組件實現流量測量:

    層流元件:精密的機械結構確保氣體在通過時保持層流狀態。

    壓差傳感器:自研高靈敏傳感器實時測量層流元件兩端的壓差值。

    計算方式:測量出壓差后就可以根據標定數據獲得工況流量和質量流量

    易度智能層流質量流量計及控制器的核心優勢

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    3. 國產自研!

    易度智能是國內第—家獲得層流壓差式CPA資質批準證書的企業,也是有能力生產通用型層流質量流量計的制造商。其產品補充了國內市場的技術空白,具備可平替進口設備的能力。

    4. 高精度與高穩定性

    量程范圍廣:高精型產品覆蓋0.1sccm5000slpm的量程需求,適應多樣化的工況場景。

    測控精度:高精型產品測量誤差控制在±0.5%讀數精度以內,重復性達到±0.1%,在行業中處于上游水平。

    溫度壓力補償:內置溫度傳感器和壓力傳感器,通過實時修正,保證不同環境條件下的精確測量。

    5. 嚴苛的質量保障

    核心部件自主研發:所有關鍵組件均為自主設計與制造,確保質量可控可根據需求靈活定制產品

    疲勞與耐久測試:每款產品需通過數千萬次疲勞測試,確保長期穩定運行。

    廣泛氣體兼容性:內置70+種氣體及混合氣體數據庫,用戶可根據工藝需求快速適配多種氣體開機即測,無需轉換系數。

    基于層流壓差原理的氣體流量控制器以其高精度、快速響應和可靠性在工業領域中占據重要地位。易度智能以國產自研,超高技術和高可靠性產品,為更多行業提供了可靠的解決方案。


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