易度質量流量控制器及流量計在半導體行業的應用優勢

在半導體行業中，對質量流量計（MFM）和質量流量控制器(MFC)的性能和參數需求非常高，以滿足精密制造的要求。

半導體行業對質量流量計的性能和參數需求

高精度：

半導體工藝對氣體流量控制要求很高，通常需要精度達到±0.5%或更高。

小流量測量能力（如sccm，標準毫升/分鐘）是關鍵，尤其是在沉積、刻蝕等工藝中。

快速響應時間：

 工藝氣體流量需要快速調整，響應時間通常在毫秒級別，以確保工藝穩定性。

寬量程比：

 半導體工藝涉及多種氣體和流量范圍，質量流量計需要具備寬量程比（如100:1或更高），以適應不同工藝需求。

多氣體兼容性：

半導體制造中使用多種氣體（如惰性氣體、腐蝕性氣體等），質量流量計需支持多氣體校準和測量。

穩定性和重復性：

長期穩定性高，重復性好，確保工藝一致性，減少設備校準頻率。

耐腐蝕性：

半導體工藝中常使用腐蝕性氣體（如Cl?、HF等），流量計材料需具備高耐腐蝕性（如不銹鋼、哈氏合金等）。

低壓力損失：

低壓力損失設計可減少對工藝系統的干擾，降低能耗。

清潔度和顆粒控制：

流量計內部設計需避免顆粒產生，確保高潔凈度，防止污染晶圓。

溫度和環境適應性：

能夠在寬溫度范圍和惡劣環境下穩定工作。

易度層流質量流量計的具體優勢

高精度小流量測量：

層流設計特別適合半導體行業對小流量（如sccm級別）的高精度需求。

低壓損設計：

減少對工藝系統的干擾，降低能耗，適合長時間運行。

快速響應：

引壓孔兩端的壓力壓差以聲波速度傳輸,響應時間可達1ms

高潔凈度：

無活動部件，減少顆粒產生，滿足半導體行業對潔凈度的嚴苛要求。

耐腐蝕性強：

接氣部采用高耐腐蝕材料以及耐腐蝕傳感器，適合腐蝕性氣體環境。

長期穩定性：

無活動部件設計，減少磨損，長期穩定性更高，降低維護成本。

       半導體行業對質量流量計的要求很高，易度層流質量流量計憑借其高精度、低壓損、快速響應和高潔凈度等優勢，在半導體行業中表現出色，成為半導體制造中的理想選擇。