精準(zhǔn)控流 易度MFC賦能CVD硅碳負(fù)極工藝革新

硅碳負(fù)極材料屬于鋰離子電池四大主材：正極材料、負(fù)極材料、電解液、隔膜中的負(fù)極材料，對(duì)于鋰離子電池的能量密度（車輛續(xù)航）、循環(huán)性能（使用壽命）、充放電倍率（快充效率）以及低溫放電性能（車輛在低溫環(huán)境下的續(xù)航衰減）具有較大的影響。

硅碳負(fù)極由于其高理論比容量被視為是繼石墨之后發(fā)展前景較好的負(fù)極材料，成為研究的熱點(diǎn)；國(guó)內(nèi)已有多家企業(yè)申請(qǐng)硅碳負(fù)極材料專li，預(yù)計(jì)2025年硅碳負(fù)極材料市場(chǎng)滲透率將上升，2035年市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)660億美元，硅膨脹問(wèn)題獲改善，硅碳負(fù)極材料需求有望進(jìn)一步增長(zhǎng)。

穩(wěn)定性好促進(jìn)高品質(zhì)生產(chǎn)

除了硅膨脹問(wèn)題，硅碳負(fù)極材料在CVD工藝生產(chǎn)過(guò)程中還會(huì)遇到其他問(wèn)題，乙炔作為主要碳源時(shí)產(chǎn)率高且質(zhì)量穩(wěn)定，?丙酮作為溶劑幫助乙炔溶解和穩(wěn)定，液體的丙酮會(huì)少量進(jìn)入流道，對(duì)質(zhì)量流量器的精度產(chǎn)生較大的影響，尤其是靠熱傳導(dǎo)計(jì)算和控制流量的熱式質(zhì)量流量控制器，而層流壓差式質(zhì)量流量控制器由于層流元件是機(jī)械結(jié)構(gòu)件，有少量的霧化丙酮進(jìn)入流道也會(huì)快速排出，影響較小。

超低漏率減少氧氣進(jìn)入

通過(guò)CVD方式制備得到的硅碳負(fù)極材料，核心是通過(guò)多孔碳骨架來(lái)儲(chǔ)硅，向多孔碳顆粒的孔隙里通入硅烷氣體，通過(guò)高溫?zé)峤馐箽怏w沉積形成硅納米顆粒分散在多孔碳的孔隙里。但是如果管道出現(xiàn)泄漏或者質(zhì)量流量控制器的漏率較高，硅烷與空氣中的氧氣反應(yīng)會(huì)出現(xiàn)粉體，導(dǎo)致熱式質(zhì)量流量控制器的毛細(xì)管堵塞，影響傳熱系數(shù)，也會(huì)導(dǎo)致發(fā)熱絲的老化，而層流壓差式質(zhì)量流量控制器沒(méi)有旁路，所有氣體均從層流元件經(jīng)過(guò)，層流元件不太容易堵塞，即使有少量粉體堵塞也不會(huì)對(duì)絕大部分區(qū)域造成影響，因此層流原理相比熱式更能抗污染。易度智能的質(zhì)量流量控制器氦檢漏率可以達(dá)到≤1x101opa·m3/s，有效減少粉體的出現(xiàn)。

多氣體通用減少客戶庫(kù)存

對(duì)于CVD設(shè)備中，需要用到的氣體控制類型有很多，如硅烷、乙炔、氫氣、氬氣、氧氣等，同時(shí)需要多通道協(xié)同控制實(shí)現(xiàn)；熱式質(zhì)量流量控制器以熱傳學(xué)為基礎(chǔ)，每臺(tái)產(chǎn)品出場(chǎng)時(shí)需要用實(shí)際氣體標(biāo)定，所以原則上只能適用于一種氣體。層流原理不同介質(zhì)通過(guò)黏度區(qū)分，黏度是氣體的物性參數(shù)，每種氣體的黏度在特定工況下是定值，只要將黏度系數(shù)和算法設(shè)置好，就可以做到直接切換工質(zhì)，可適用于多種氣體。

針對(duì)納米硅合成、氣相沉積過(guò)程中乙炔的分解和碳包覆層的形成?等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。易度高精型質(zhì)量流量控制器EC系列憑借其高準(zhǔn)確度（±0.5%S.P.）、高重復(fù)性(±0.1%Rd)、耐腐蝕性、優(yōu)異的密封性能和產(chǎn)品長(zhǎng)期穩(wěn)定性，保障了工藝穩(wěn)定性與材料一致性，促進(jìn)了材料性能（如能量密度、循環(huán)壽命）提升，并顯著改善生產(chǎn)安全。獲得了客戶的好評(píng)。

規(guī)格型號(hào)：EC450

準(zhǔn)確度：±0.5%S.P.(設(shè)定值)(20%～100%量程范圍)、±0.1%F.S.(滿量程)(0.5%～20%量程范圍)

壓力漂移：Zero：≤±0.1%Rd/100kPa；Span：≤±0.1%Rd/100kPa（基準(zhǔn)100kPa(絕壓))

溫度漂移：Zero：≤±0.02%F.S./℃；Span：≤±0.02%F.S./℃（基準(zhǔn)溫度25℃）

量程范圍：0.1SCCM~20000SLPM

重復(fù)精度：±0.1%Rd(20%～100%F.S.)、±0.02%F.S(0.5%～20%F.S.

工作范圍：0.5%～100%F.S.

響應(yīng)時(shí)間(T98)： ≤300ms

啟動(dòng)預(yù)熱時(shí)間： 開(kāi)機(jī)即用無(wú)需預(yù)熱

讓每一微升氣體，精準(zhǔn)定義硅碳負(fù)極性能！實(shí)驗(yàn)室到量產(chǎn)，我們?yōu)楣に嚪€(wěn)定性護(hù)航!