氣體質量流量控制器在配氣儀、動態校準儀中的應用

時間：2025-04-07 點擊次數：452

氣體質量流量控制器是配氣儀中的核心部件，可提供精確、穩定的氣體流量控制，讓氣體混合、稀釋更便捷。

易度MC系列質量流量控制器（新款EC系列）采用層流壓差式原理，具有高可靠、高穩定、高精度和高重復性的優勢，同時在抗過載能力和抗污染能力上表現良好，助力配氣儀廠商實現更精準的氣體濃度混合配比。

應用要求：

配氣儀的氣體配比通常為100:1等，常見的有兩路甚至更多，一般兩路為一路標氣，一路稀釋氣體。要實現精準配氣，需要流量控制器在各流量點控制氣體準確度高，重復性好，同時對壓力波動不敏感。

主要問題：

1、控制穩定：配氣儀受前端壓力波動影響大，影響流量穩定性，要求流量控制器具有高穩定性，減少壓力波動影響；

2、無漏氣：要求流量控制器內置的比例調節閥流量為零時，要處于常閉狀態，閥門不漏氣，無流量；

3、抗污染能力：配氣儀介質用到腐蝕性氣體，造成流量控制器流道易堵塞，堵塞與流道管徑的粗細直接相關；

4、抗過載能力：配氣儀控制氣體從低流量點切換到高流量點時，受到瞬間大流量沖擊，抗過載能力弱會直接影響流量控制器的使用壽命。

解決方案：

1、高穩定性：易度流量控制器內置高精度壓力、溫度傳感器,可進行溫度、壓力的實時補償，700ms的快速響應時間，快速糾正、保持氣體控制的流速恒定，提供穩定的氣體流量控制；

2、無漏氣：易度流量控制器內置的比例調節閥系自主研發，結構緊湊，密封性好，不漏氣，無流量；

3、抗污染能力強：易度流量控制器氣體流道為單通道設計，流道管徑相對較粗，不易受到氣體的污染，造成堵塞；

4、抗過載能力高：易度流量控制器內置的壓差傳感器，可承受50倍及以上的過載流量，抗過載能力強，解決配氣儀低流量段瞬間過載問題。

多組分混合標準氣體是環保行業實現監測設備多點標定的重要工具，以質量流量控制器為配氣部件的動態校準儀(或動態氣體稀釋裝置等)，利用高濃度標氣和零氣，通過對各氣路氣體流量的精確控制，實現多濃度點氣體的連續、穩定配制，并以低成本、智能檢測、自動配氣、不受使用環境溫度和壓力影響等優勢被廣泛應用。

動態校準儀.png

質量流量控制器在動態配氣儀中起著重要作用。穩定、高重復的標氣和零氣精準流量控制，可提升動態校準儀高精度、連續、穩定輸出濃度。

客戶應用背景：作為動態校準儀的研發生產商，對流量控制器的現場表現有多方面的實際需求。氣體流量控制器的重復性和可靠性、微小的漏氣、不同溫度壓力下的精度保持能力等問題，最終會對客戶造成不同程度的困擾。提高動態校準儀的精度和穩定性，減少最終用戶的長期使用和維護成本，成為發展和技術進步的方向。

關鍵關注點：

動態校準儀簡化原理框圖（自制圖片，不代表真實原理結構）

標氣零氣.png

? 高重復性的配氣

? 對溫度和壓力漂移，環境適應性好

? 對前端壓力波動不敏感

? 寬量程精度保持能力（例如20%~100%或10%~100%量程范圍內達到±1%S.P.）

? 高可靠，長期精度不漂移，控制穩定性好

? 要求對低濃度的NH3/SO2/CO等氣體有較好的抗污染能力

解決方案：

為提高動態校準儀連續穩定的輸出濃度，易度提供了MCF100系列層流壓差式質量流量控制器作為標準配氣元件，選用閥門后置型產品，可監測前端氣體壓力，并選取了幾種不同的量程，典型氣體流量為100SCCM和10SLPM的質量流量控制器，精度為±1.0% S.P.。

? 內置的比例調節閥和流量傳感器具有高分辨率和穩定性

? 內置的絕壓和溫度傳感器，具有-20~50℃，0~1MPa的寬環境適應性

? 層流壓差式流量控制器具有極快的反饋控制速度，對前端壓力不敏感

? 層流壓差式流量控制器具有寬量程精度保持能力的原理性優勢

? 層流壓差式原理，高性能壓力、壓差傳感器和比例閥門是長期可靠性的基石

? 自研的壓力和壓差傳感器對低濃度腐蝕性氣體不敏感，有較好的抗污染能力

易度流量控制器采用層流壓差式原理，在氣體流量控制的精度和重復性上有明顯的優勢，100:1的量程比（可定制更高量程比），在小流量段也能實現毫秒級快速控制。比例調節閥在設計中充分考慮密封性和內漏問題，將客戶的關鍵關注點解決，幫助客戶將動態配氣儀提升到更高品質和更優性能。