防爆型氣體質量流量控制器的特點

層流壓差式防爆型的質量流量控制器的工藝結構及特點

耐腐蝕材料與密封優化

材料選擇：采用316L不銹鋼流道，其低碳含量與鉬元素增強了抗點蝕和晶間腐蝕能力，適用于Cl?、H?S等腐蝕性介質環境。

密封技術：關鍵密封點使用FFKM全氟醚橡膠或PTFE材質，耐受強酸、強堿及有機溶劑，漏率控制在1×10?10 Pa·m3/s以下，避免介質泄漏導致的部件失效。

層流元件與傳感技術

層流元件：強制流體進入雷諾數Re<2000的層流狀態，通過哈根-泊肅葉定律實現流量計算。

雙通道壓差傳感：結合溫度補償模塊修正粘度變化誤差，典型精度可達±0.5%讀數精度重復性達±0.1%滿量程精度。

模塊化與智能集成

通訊接口：支持RS485、4-20mA、0-5V等多種信號輸出，便于集成到自動化系統。

觸屏操作與數據管理：配備觸控屏實現氣體介質切換、混合比例調整，并提供上位機軟件實時監控與數據下載。

環境適應性與耐用性

寬溫寬壓設計：工作溫度范圍-20℃~60℃，耐壓達2.5MPa，適用于苛刻的工業環境。

抗電磁干擾：金屬外殼設計提升抗干擾能力，確保復雜環境下的穩定性。

易度智能的層流壓差式產品及技術優勢

核心產品系列

EC標準型：量程0.5sccm~5000SLPM，精度±1.0%讀數，內置70+種氣體參數，支持任意角度安裝，適用于實驗室與工業場景。

EC高精型：精度提升至±0.5%，耐壓1.5MPa，內置70多種氣體，適用于半導體工藝與新能源電池電解液灌裝。

P300便攜式：配備充電電池，續航15小時，支持無電源環境下的戶外測量，響應時間<0.1秒。

技術創新與性能亮點

算法補償：通過壓力、溫度傳感器的實時補償，降低漂移量（如零點漂移<0.1%FS），提升長期穩定性。

多氣體兼容：支持70余種氣體及混合氣體測量，用戶可自定義氣體參數，擴展應用場景。

快速響應：部分型號響應時間<0.2秒，滿足半導體薄膜沉積、燃料電池測試等快速控制需求。

應用領域

半導體制造：精準控制蝕刻氣體（如Cl?、SF?）流量，適配5nm以下制程要求。

新能源與環保：用于氫氧燃料電池動態配比、煙氣脫硫系統監測及鋰電電解液灌裝。

生物制藥：滿足無菌環境下笑氧混合氣體的亞秒級響應控制需求。

三、易度智能的認證資質與行業地位

國內認證與標準參與

通過中國計量科學研究院認證，是國內唯—通過該認證的層流質量流量計制造商。

參與編撰《流量測量技術全書》及制定《層流流量計型評大綱》《層流流量計檢定規程》等國家標準。

國際認可與市場布局

產品銷往歐洲、北美、東南亞等地區，技術指標對標國際品牌，量程覆蓋0.1SCCM~20000SLPM，耐壓達2.5MPa。

行業影響力

作為國內第—家具備通用型層流流量計量產能力的企業，技術積累深厚，產品應用于西北工業大學等科研機構及多家世界500強企業。

總結

層流壓差式質量流量控制器的改進重點在于材料耐腐蝕性、傳感精度及環境適應性，而易度智能憑借自主研發的算法補償技術、多氣體兼容性及模塊化設計，在半導體、新能源等領域展現了顯著競爭力。其產品通過認證并參與行業標準制定，技術指標接近甚至超過國際水平。