可替代進口的國產質量流量控制器

在制造與科研領域，氣體流量的精準控制直接決定著芯片良率、電池性能、生物藥效乃至能源效率。長期以來，中國半導體、新能源、生物制藥等關鍵產業的氣體質量流量控制器（MFC）高度依賴進口品牌，不僅面臨供應風險，更承受著高昂成本與技術的雙重壓力。在中美科技競爭加劇、產業鏈自主可控上升為國家戰略的今天，發展國產高性能MFC已刻不容緩。在這一背景下，陜西易度智能科技有限公司依托自主研發的層流壓差核心技術，推出了全系列氣體質量流量計與控制器，為中國制造業提供了可替代進口的高可靠性解決方案。

突破壟斷：層流壓差技術的自主突圍

易度智能的層流壓差技術從根本上革新了氣體流量控制模式。不同于傳統熱式流量計依賴氣體熱屬性進行間接測量的方式，該技術通過精密層流元件將湍流氣體轉化為規則的層流狀態，利用高靈敏度壓差傳感器直接測量層流元件兩端的壓力差。結合內置溫度與壓力傳感器的實時動態補償，直接將工況流量轉化為標況質量流量。這一原理性突破使產品擺脫了對“預熱"的依賴，實現開機即用，響應速度低于500ms，在-20℃~60℃的寬溫域及1MPa壓力環境下保持穩定運行。

相較于國際品牌的主流熱式MFC，易度的層流壓差技術展現出三大差異化優勢：

抗成分波動性：熱式MFC的測量精度易受氣體熱容變化影響，當燃料氣源成分波動時極易產生偏差；而層流壓差式主要依賴氣體粘性參數，對成分變化不敏感，在燃燒控制、混合配氣等場景中優勢顯著；

物理級響應速度：壓力波傳播速度高達340m/s，結合微流道設計與低慣性傳感，信號采集最快可達1ms，遠超熱式原理的毫秒級瓶頸5；

免標定適配能力：內置70余種氣體數據庫，支持混氣比例自主編輯，切換氣體時無需人工轉換系數或重新標定。這一特性在需要頻繁切換工藝氣體的半導體光刻與刻蝕環節價值尤為凸顯。

性能對標：精度與可靠性的較量

在核心參數上，易度智能的EC/SC系列MFC已實現對國際品牌的全面對標：

精度與重復性：測量精度達±0.5%設定值，重復性±0.1%F.S.，與歐美一線產品處于同一水平；

環境適應性：采用金屬密封殼體與316L不銹鋼流道，在電磁干擾、腐蝕性氣體、振動環境中保持長期穩定性，解決了國產設備“實驗室能用、工廠不能用"的痛點；

復雜工況補償：通過溫度壓力實時補償算法，在-20℃~60℃介質溫度范圍內維持精度，克服了傳統設備在低溫環境下的漂移問題。

更關鍵的是，易度產品在半導體制造場景驗證了其替代能力。公司專門建立百級潔凈生產線，其MFC已在國產光刻機、刻蝕機的多家頭部設備商中批量應用。在晶圓加工過程中，氣體流量0.1秒的延遲就可能導致薄膜厚度不均甚至整批報廢，而易度控制器的毫秒級響應為芯片良率提供了“隱形保障"。

多元布局：國產流量控制的場景化革新

針對不同行業需求，易度智能構建了完整的國產替代產品矩陣：

SC系列：配備觸控屏，實時顯示溫度、壓力、流量等參數，±0.5%設定值精度滿足實驗室高精度標定需求；

EC系列：取消屏幕設計強化工業抗擾性，標配RS485通訊，專為原子鍍膜設備、精細化工生產線等工業系統優化；

P系列便攜式：內置電池支持15小時續航，解決環保現場檢測、移動校準等場景痛點。

在氫能領域，EC400系列憑借其對氫氣的高精度控制能力，成為電解制氫裝備的核心部件；在生物反應器中，其無菌環境兼容性保障了細胞培養氣體的穩定輸送；在環保監測端，更以快速動態響應實現對VOCs排放的實時監控。這種全場景覆蓋能力，使國產MFC擺脫了“單一替代品"的定位，進化為適配中國制造體系的核心元器件。

易度智能的層流壓差技術體系，不僅標志著國產MFC實現了從“技術可用"到“技術好用" 的關鍵跨越，更在半導體裝備、氫能制備等國家戰略產業中注入了自主可控的“流量之芯"。當中國半導體的每一次“呼吸"、新能源的每一縷“脈搏"都被國產傳感器精準掌控，制造業的供應鏈安全才真正筑牢根基——這不再只是流量的測量，更是對中國制造命脈的守護。