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9-17
在現代工業流程中,蒸汽流量的精確測量對過程控制、能效管理和安全生產具有至關重要的意義。蒸汽流量計廣泛應用于多個行業,包括能源、化工、制藥和食品加工等。然而,蒸汽流量測量面臨著一系列復雜的技術挑戰,尤其是在不同壓力和溫度條件下的性能表現。例如,在低壓環境中,水的沸點會顯著降低,這使得蒸汽更容易發生相變,導致測量誤差;而在正常或高壓條件下,高溫蒸汽又可能超出傳統流量傳感器的耐溫極限,造成設備損壞或測量失真。針對這些挑戰,易度層流壓差式質量流量控制器提供了一種創新性的解決方案。該技...
9-16
在當代半導體工業中,無水氟化氫作為一種高效的干式蝕刻劑與清潔氣體,正發揮著不可替代的作用。隨著集成電路制程節點不斷微縮,對工藝精度的要求日益嚴苛,AHF在晶圓沉積薄膜蝕刻與機臺設備內硅類殘留清潔中的應用愈發重要。而在這個過程中,易度層流壓差式質量流量控制器的精密控制能力,成為確保工藝穩定性和重復性的核心技術保障。在晶圓制造過程中,薄膜沉積后的圖形化蝕刻是決定電路性能的關鍵步驟。無水氟化氫因其優異的蝕刻選擇性和反應效率,被廣泛應用于多種介質膜的精細加工。在先進制程中,工程師們通...
9-15
在半導體制造領域,低壓化學氣相沉積技術是制備各種薄膜材料的關鍵工藝。這一過程對壓力控制提出了高要求,任何微小的壓力波動都可能直接影響薄膜厚度均勻性、致密性和結構完整性。陜西易度智能科技有限公司自主研發的層流壓差式壓力流量控制器,正是針對這一精密控制需求而設計的創新解決方案。LPCVD工藝對壓力控制的嚴苛要求LPCVD工藝需要在低于大氣壓的環境中進行的特性,使得壓力成為影響反應氣體傳輸、表面反應速率和薄膜生長質量的關鍵參數。傳統的壓力控制方法往往難以同時滿足穩定性、響應速度和精...
9-12
在半導體芯片制造的精密世界中,特種工藝氣體的精準控制直接決定著芯片的性能與良品率。長期以來,這一關鍵領域被國際品牌所壟斷,如今,以陜西易度智能科技有限公司為代表的國產創新力量,通過自主研發的層流壓差式質量流量計與質量流量控制器,正在打破這一局面,為中國半導體產業的自主可控提供關鍵技術支撐。精密掌控半導體制造的“氣體脈搏”在半導體制造過程中,擴散、刻蝕、化學氣相沉積等關鍵工藝都離不開特種氣體的精準控制。易度智能針對半導體行業的高標準要求,專門建立了百級潔凈間生產線,確保產品能夠...
9-11
在石油化工這一高度復雜且對精確度要求高的行業中,流量的準確測量直接關系到生產安全、能源效率與經濟效益。傳統的流量測量技術往往難以兼顧高精度與低干擾,尤其是在復雜多變的現場工況下。近年來,基于層流壓差原理的便攜式質量流量計,特別是易度P系列產品,以其高性能表現,正在為該領域的流量監測帶來全新的解決方案。層流壓差式質量流量計的核心優勢在于其能夠直接測量流體的質量流量,無需進行溫度或壓力的補償計算,這極大簡化了操作流程并提高了數據的可靠性。在石油化工廠中,天然氣作為一種重要的能源與...
9-10
在現代工業制造與科研領域,密封性測試是保障產品質量與安全的關鍵環節。無論是醫療用品中的輸液袋和試劑瓶、燃料電池中的電池包與膜電極,還是各類電子產品的精密外殼,其密封性能的可靠性都直接關系到最終產品的功能與壽命。層流壓差式質量流量控制器憑借其技術優勢,在這些應用場景中展現出超高的性能,成為高精度密封檢測的核心設備。在醫療用品制造行業中,輸液袋和試劑瓶的密封完整性至關重要。這些容器一旦發生微泄漏,不僅會導致藥液變質,還可能引發細菌污染,直接危及患者安全。傳統的檢測方法往往無法識別...
9-8
在半導體制造領域,清洗工藝是確保芯片性能和可靠性的關鍵環節。其中,氣體質量流量控制器(MFC)作為精密流體控制的核心設備,在清洗過程中發揮著不可替代的作用。層流壓差式質量流量控制器憑借其高精度和穩定性,成為半導體清洗設備的技術方案。半導體清洗設備需去除晶圓表面的微粒、有機物和金屬雜質,以避免后續工藝中的缺陷。等離子清洗是常用技術,通過激發工藝氣體產生等離子體,實現表面清潔和改性。這一過程要求氣體流量精確穩定,層流壓差式質量流量控制器通過實時監測和調節氣體流量,確保等離子體均勻...
9-5
在高校、實驗室、科研院所和各工業研發測試臺等前沿科研領域中,流體的流量測量與控制往往是決定成敗的關鍵。傳統質量流量計在實際應用中存在幾項明顯弊端。通常需要較長的預熱時間以達到熱平衡狀態,無法實現開機即用,工作效率較低。其次,傳統質量流量計采用熱擴散原理,其核心傳感元件易受環境溫度變化及氣體特性影響,導致顯著的零點漂移和量程漂移現象,需要頻繁進行校準維護,售后維護成本高。更突出的是,其測量穩定性相對較差,長期使用過程中容易出現測量值波動,特別是應對壓力、溫度變化時表現更為敏感,...