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6-24
質量流量控制器在新材料研發與生產領域,鍍膜、涂層技術扮演著至關重要的角色。無論是賦予材料硬度、耐腐蝕性,還是實現精密光學性能、特定電學特性,其核心工藝——如物理氣相沉積(PVD)、化學氣相沉積(CVD)、原子層沉積(ALD)、等離子噴涂等——都極度依賴對參與反應或載運氣體的精確、穩定、可重復的流量控制。質量流量控制器(MFC)正是保障這一控制精度的核心傳感器與執行單元。而在眾多MFC技術路線中,基于層流壓差測量原理的MFC,憑借其優勢,成為應對新材料嚴苛工況的理想解決方案。直...
6-23
在現代工業的精密脈絡中——從半導體芯片的納米級蝕刻到生物制藥的純凈反應,再到實驗室探索的微觀世界——精確控制氣體或液體的質量流量如同精準的脈搏,直接關乎工藝成敗與產品質量。實現這一精準控制的核心器件,便是質量流量控制器(MFC)。它如同一位無形的“流量指揮家”,實時感知流體流過的大小,并迅速調整閥門開度,確保實際流量毫厘不差地跟隨設定值。在眾多測量原理中,層流壓差式與熱式是應用最為廣泛的兩大技術路線,它們各具特色,而層流壓差式在多個關鍵維度展現出顯著優勢。原理探微:兩條不同的...
6-20
在精密氣體流量控制領域,層流壓差式質量流量控制器(MFC)以其工作原理和性能,成為眾多工況應用的選擇。其核心優勢體現在以下幾個方面:穩定可靠,精度高:層流壓差式MFC的核心在于其內部的層流元件。當氣體流過該元件時,被強制形成穩定、有序的層流狀態,消除了湍流帶來的隨機干擾。此時,氣體流經元件產生的壓差與氣體的質量流量直接呈現高度線性、可重復的關系。這種物理特性是穩定測量的基石,結合精密的壓差傳感器和溫度補償技術,使其能夠實現超高的測量和控制精度(通常在±1%FS或...
6-19
很多客戶在購買了層流壓差式質量流量計和質量流量控制器后,會和其他廠商的熱式或者層流壓差式質量流量計與質量流量控制器進行測量結果對比,往往兩種不同品牌或者原理的產品比對結果會有差異,有時偏大有時偏小,有的是線性偏大或者線性偏小,那么出現這種情況的原因是什么呢?具體的解決方案是什么呢?當測控的流量是線性偏大或者偏小的時候,首先考慮兩種不同品牌的質量流量計是否是設置的同一種介質,不同的介質粘度系數不一樣,會存在測量的數值線性偏大或者偏小,導致測量結果偏差;再考慮兩種不同品牌的質量流...
6-18
在工業氣體質量流量測量領域,熱式質量流量計與層流壓差式流量計都是常用技術。雖然熱式儀表憑借無活動部件、響應快、低壓損等優點占據特定市場,但普遍認為其在核心性能指標上常不及層流壓差式流量計。這背后的關鍵,在于兩種技術截然不同的測量原理及其帶來的內在限制。熱式流量計的核心原理是熱傳遞:它通過加熱傳感元件,并測量氣體流經時帶走的熱量(導致溫度變化)來推算質量流量。這一原理使其表現深受氣體熱物理性質的影響:氣體組分依賴性高:氣體比熱容是其關鍵參數。一旦被測氣體組分變化(例如,氮氣中混...
6-17
固體氧化物燃料電池(SOFC)與質子交換膜燃料電池(PEMFC)代表了清潔能源轉換技術的先進方向。SOFC以其燃料靈活性著稱,可直接使用天然氣、氨氣甚至煤氣等多種碳氫燃料,工作溫度高達650-1000℃。而PEM則憑借低溫運行(通常80℃以下)、快速啟動和動態響應優勢,特別適用于交通動力領域。但這兩類燃料電池的高效運行均面臨同一核心挑戰:反應氣體的精準流量控制。在SOFC系統中,氣體流量不僅影響電化學反應速率,還直接關系高溫下的熱平衡和燃料利用率;PEM則需嚴格控制氫氧比例以...
6-16
在科研實驗、半導體制造、生物制藥、精密化工等領域,對微小氣體流量的精確測量與控制至關重要。層流壓差式質量流量計(MFM)和質量流量控制器(MFC)正是為此而生的核心設備,以其工作原理和顯著優勢,成為高精度流量管理的中堅力量。核心原理:層流與壓差的結合層流狀態:氣體流經內部特殊設計的層流元件時,形成穩定、有序的分層流動(層流),無湍流干擾。壓差測量:在層流狀態下,氣體流過元件產生的壓力差(ΔP)與氣體的質量流量(Q)呈線性正比關系(遵循哈根-泊肅葉定律)。這是其測量的物理基礎。...
6-13
質量控制器控不穩?原理選擇是關鍵質量流量控制器(MFC)出現控制不穩是常見挑戰,常表現為流量波動、響應遲緩或偏離設定值。造成此問題的因素多樣,包括傳感器零點漂移、閥門卡滯、電路故障、氣源壓力不穩、管路泄漏或污染等。然而,一個常被忽視的核心因素是:流量測量原理的選擇是否與應用工況匹配。在氣體流量測量領域,熱式和層流壓差式是兩種主流原理,其差異顯著影響著控制穩定性。原理之別:熱傳導vs.流體阻力熱式原理:核心在于氣體的熱傳導特性。傳感器包含加熱元件和測溫元件。氣體流經時帶走熱量,...