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易度智能質量流量控制器是一款高性能、高可靠性的設備,以下是對其的詳細介紹:一、產品原理易度智能質量流量控制器基于內部補償型層流壓差技術。它內置壓力和溫度傳感器,能充分補償因溫度和壓力引起的體積流量和質量流量間的差異。設備通過精密電磁比例調節(jié)閥自動控制氣體流量,從而提供更加準確和穩(wěn)定的流量測量和控制。二、產品組成層流質量流量控制器由層流元件、壓力傳感器、壓差傳感器、溫度傳感器、精密比例調節(jié)閥和電路部分組成。其工作流程如下:氣體由入口處進入,經過層流元件將不規(guī)則的湍流狀態(tài)規(guī)整為規(guī)...
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易度智能是一家專注于高精度氣體流量測控領域的技術型企業(yè)。易度智能以層流原理為基礎,通過持續(xù)創(chuàng)新為半導體、新能源、生物醫(yī)藥、環(huán)境監(jiān)測等領域提供高性能的氣體質量流量控制器(MFC)及流量計解決方案。其MFC產品具有高精度、快速響應時間、寬量程比、多氣體兼容性、穩(wěn)定性和重復性高等特點,能夠滿足半導體行業(yè)等制造行業(yè)對氣體流量測控的嚴苛要求?。此外,易度智能建立了從研發(fā)設計、核心部件制造到整機組裝的全流程生產體系,確保每臺設備均通過嚴格的性能測試與老化驗證,滿足工業(yè)級可靠性要求。同時,...
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半導體行業(yè)對質量流量控制器(MassFlowController,MFC)的要求極為嚴苛,因其直接關系到芯片制造的良率、工藝穩(wěn)定性及設備安全性。1.高精度與穩(wěn)定性精度要求:半導體制造中氣體流量的微小偏差可能導致薄膜厚度不均或摻雜濃度異常,因此MFC的精度需達到±1.0%滿量程(F.S.)甚至更高(易度智能MFC精度可達到±0.5%S.P.)。重復性:重復性誤差不超過±0.2%F.S.,以確保多次工藝的穩(wěn)定輸出(易度智能MFC重復性可達...
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當我們研究氣體流量計和流量控制器時,理解表壓、絕壓和大氣壓之間的關系是非常重要的。簡單的解釋一下它們的區(qū)別和在產品測量時的應用。大氣壓(AtmosphericPressure)大氣壓是地球表面空氣對物體施加的壓力,它是由地球大氣的重力造成的。它的大小在不同的高度和天氣條件下會有所變化。在海平面,標準的大氣壓是101.325kPa。大氣壓的作用是我們日常生活中所感受到的“空氣壓力”,就像你站在地面上,身體周圍的大氣會對你施加一定的壓力。表壓(GaugePressure)表壓是指...
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在半導體行業(yè)中,對質量流量計(MFM)和質量流量控制器(MFC)的性能和參數需求非常高,以滿足精密制造的要求。半導體行業(yè)對質量流量計的性能和參數需求高精度:半導體工藝對氣體流量控制要求很高,通常需要精度達到±0.5%或更高。小流量測量能力(如sccm,標準毫升/分鐘)是關鍵,尤其是在沉積、刻蝕等工藝中。快速響應時間:工藝氣體流量需要快速調整,響應時間通常在毫秒級別,以確保工藝穩(wěn)定性。寬量程比:半導體工藝涉及多種氣體和流量范圍,質量流量計需要具備寬量程比(如100...
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易度智能:以層流技術為核心的氣體流量控制專家在工業(yè)自動化與精密制造領域,氣體流量控制的精度與可靠性是保障生產效能的關鍵要素。作為國內專注氣體質量流量控制器(MFC)及流量計研發(fā)與生產的技術型企業(yè),易度公司以層流原理為基礎,通過持續(xù)創(chuàng)新為半導體、新能源、生物醫(yī)藥、環(huán)境監(jiān)測等領域提供高性能解決方案,助力客戶實現精細化生產與高效能管理。一、企業(yè)優(yōu)勢:專注技術深耕,推動行業(yè)進步層流技術驅動,實現精準測量易度公司以層流原理為核心技術路徑,通過優(yōu)化流體動力學模型與精密傳感技術,確保氣體流...
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高精度氣體質量流量計的正確安裝與調試方法對于確保其測量準確性和穩(wěn)定性至關重要。以下將詳細闡述這兩個過程的關鍵步驟和注意事項。一、正確安裝方法1.選擇合適的安裝位置流量計應安裝在遠離震動源和強電磁場干擾的地方,以減少外部干擾對測量結果的影響。安裝位置應便于操作和觀察,同時確保流體流動穩(wěn)定,避免在管道的彎頭、閥門等流動干擾處安裝。2.檢查流量計和管道在安裝前,檢查流量計的外觀是否完好,確認型號、規(guī)格與系統(tǒng)要求相符。清潔管道內部,避免雜質和污垢影響流量計的性能。3.確定安裝方向根據...
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一、氣體質量流量控制器的維護保養(yǎng)氣體質量流量控制器是一種精密儀器,為確保其長期穩(wěn)定運行和測量準確性,需要進行定期的維護保養(yǎng)。以下是一些關鍵的維護保養(yǎng)技巧:定期清潔:使用干凈的軟布或棉簽輕輕擦拭儀器表面和傳感器部分,防止灰塵、油污等雜質進入儀器內部影響其性能。注意避免使用腐蝕性清潔劑。定期拆開設備內部進行雜物整理,并檢查是否有受損的零件。檢查連接部位:定期檢查氣體質量流量控制器的連接部位,確保連接牢固、無泄漏。如果發(fā)現連接部位松動或泄漏,應及時擰緊或更換密封件。管道剛性檢查:檢...